来源:互联网 更新时间:2026-07-28 08:30
7月28日消息,在成功造出两台150nm光刻机原型机之后,俄罗斯相关部门对外公开表态,将在今年年底正式完全掌握130nm全流程光刻技术。
俄罗斯泽列诺格勒纳米技术中心ZNTC目前已经正式启动两套设计工艺为150nm的电子束光刻系统原型的全面实机测试,整套设备的完整测试周期预计会持续四个月左右。
这套自研光刻系统可以直接在硅片上完成微电路的图案化加工,还能不需要额外配套掩模,直接制作生产环节所需的光掩模。这套工艺路线非常适配芯片原型开发、前沿技术研发场景,也能满足各类专用微电路的小批量生产需求。
与之形成鲜明对比的是,当前全球头部的顶尖芯片制造商比如英特尔、台积电,早已经开始用1.8nm到2nm的先进工艺大规模量产消费级处理器,生产环节全部采用最顶尖的EUV极紫外光刻机设备。
俄罗斯第一副总理丹尼斯·曼图罗夫对外公开表态,这一系列自研光刻设备的落地,标志着俄罗斯时隔45年之后,正式重返世界微电子强国的序列。他给出明确预期,到2026年底,俄罗斯的本土产业就会完全掌握成熟的130nm光刻全链条技术。
不少行业分析人士指出,单从商业消费级先进芯片的维度来看,130nm工艺看起来技术非常落后,和全球顶尖水平存在巨大差距。

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