当EUV光刻机近在眼前！Intel亚利桑那州晶圆厂行记

2023年8月，作为仅有的四家中国媒体之一，参观了Intel位于马来西亚的封测工厂、实验室，同时提前了解了全新酷睿Ultra(Meteor Lake)处理器的架构设计和技术特性。

(马来西亚封测厂内合影)

最近，又来到美国亚利桑那州凤凰城，参观了Intel在这里的Fab晶圆厂，第一次近距离接触了先进的EUV光刻机、18A工艺流水线，也算是弥补了疫情期间未能前往以色列晶圆厂的遗憾。

事实上，这也是该工厂第一次对媒体开放，尤其是刚刚投产的Fab 52。

先来了解一下Intel亚利桑那州晶圆厂的背景。

亚利桑那州虽然有大片沙漠、戈壁，是美国第五干旱的州，晶圆厂又极度消耗水资源，但是地震、飓风、野火等自然灾害非常少，有利于晶圆厂的稳定运行。

同时，亚利桑那州科技氛围浓厚、人才济济，半导体厂商就超过155家，亚利桑那州立大学是全美最大的大学之一，加之距离加州硅谷非常近、税率非常低(4.9％)，故而吸引Intel、台积电纷纷在这里设厂。

Intel在亚利桑那州的发展历程始于1979年，次年开始在钱德勒市(Chandler)启动业务运营，最初的重点为制造与组装业务。

46年来，Intel在亚利桑那州的投资已超过500亿美元，是最大的私营企业之一，也是经济的重要贡献者，使之成为全球重要的半导体制造中心。

Intel亚利桑那州奥科蒂约园区(Ocotillo Campus)的总面积约有2.6平方公里，坐落于普莱斯路走廊(Price Road Corridor)的南端，是该山谷地区最受青睐的工业开发地段之一。

有趣的是，这里曾经是博格尔家(Bogle family)农场，面积达2.8平方公里，20世纪90年代初被Intel收购，而与园区一路之隔仍有大面积农田和社区。

园区内有多座晶圆厂，是Intel在全球范围内数量最多的：

Fab 12：20世纪90年代就已启动，2006年投产，是当时Intel最先进的制造工厂之一，目前主要生产22/14/10mm。

Fab 22：1996年开工，2002年投产，主要生产22/14/10mm。

Fab 32：建于21世纪初，2007年投产，进一步扩大了产能，主要生产22/14/10mm。

Fab 42：2011年开工，一度暂停，2017年投资70亿美元而重新开工，2020年投产，主要生产10nm、Intel 3。

Fab 52/62：Intel IDM 2.0战略和持续扩张计划的一部分，相关投资达320亿美元。

其中，Fab 52 2021年动工，最近刚刚完全投入运营，拥有EUV光刻机入驻，即将量产最先进的18A；Fab 62 2024年刚刚动工，未来将生产14A。

这里的每一栋建筑物则以OCxx的方式命名，xx为从1开始的数字编号。

大家应该发现了，亚利桑那州的工厂编号都是数字2结尾，这也是一个传统了。

Intel 晶圆厂早期都是按顺序排列命名，从最初的Fab 1一直Fab 12，之后亚利桑那州就保留了以2结尾。

新墨西哥州的都是1结尾(Fab 11/11X)，爱尔兰的都是4结尾(Fab 14/24/34)，以色列的都是8结尾(Fab 28/38)，俄亥俄州的将以7结尾(Fab 27建设中)，俄勒冈州因为以研发为主而使用三位字母＋数字命名(D1B/D1C/D1D/D1X/RB1/RP1等等)。

这里只有一个例外，就是位于中国大连的NAND闪存晶圆厂，为了吉利而取名Fab 68，如今完全卖给SK海力士。

如今一座标准的处理器晶圆厂的建设通常需要3-5年甚至更久，成本至少200-250亿美元。

Fab 52建设过程中，挖掘土石总量超过100万立方米，可以填满400个奥运标准泳池，浇筑混凝土约60万立方米；使用钢筋7.5万吨，是全球最高建筑迪拜哈利法塔的两倍；架设结构钢3.5万吨，是埃菲尔铁塔的五倍；铺设电缆等管线总长900万米，相当于214个全程马拉松。

同时，Intel一向重视环保，尤其是在严重缺水的亚利桑那州，在厂区内水处理与水资源回收利用方面投入了大量资金，与当地合作建设了占地4.86万平方米的水处理设施。

其中，奥科蒂约盐水还原设施(OBRF)主要用于在进一步处理前去除水中的盐分，每日可处理与回收34.07万立方米水，最终作为高纯度水源回流用于工厂生产。

目前，Intel在亚利桑那州实现了 “水资源正产出”（water-positive），截至2023年已为当地恢复4164万立方米的水资源。

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